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气体质量流量计（Mass Flow Meter，简称MFM）是一种直接测量气体质量流量的精密仪器，广泛应用于化工、环保、生物药、半导体制造等领域，核心功能是实时、准确地监测气体的质量流量（单位通常为sccm、slm等），无需依赖温度和压力补偿。
其工作原理因类型而异，主流的热式气体质量流量计应用z广：传感器内含两根热丝（或热膜），一根被恒定电流加热，另一根作为参考端。当气体流过时，带走加热丝的热量，导致两根热丝出现温度差（或维持温度恒定所需的电流差），通过测量这一差异可直接换算出气体的质量流量。此外，还有差压式、科里奥利式等类型，分别基于气体流经节流元件的压力差、惯性力与科里奥利力的平衡关系实现测量。
MFM的核心构成包括流量传感器、信号处理单元和显示/输出模块。传感器负责捕捉流量信号，信号处理单元通过电路放大、滤波及算法运算将信号转化为流量值，最终通过显示屏实时显示，同时可通过模拟量（如4-20mA）或数字接口（如RS485）输出数据，方便与控制系统联动。
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https://www.gkzhan.com/st319257/erlist_1764474.html
http://www.schaloder.net/SonList-1764474.html
气体质量流量计