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磁悬浮轴承型复合分子泵TG-M系列使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。
TG-M系列磁悬浮分子泵产品型号：TG390M、TG420M、TG900M、TG1300M、TG2400M。
特点：
任意方位安装
轻巧设计
节能
分子泵停止与启动时间短
附带维护警报机能
低振动
无需调整
自动校准
可控制转子旋转速度
大流量排气
多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
应用：
半导体制造
电子排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
磁悬浮轴承型复合分子泵TG-M系列技术规格：
型号
TG390M
TG420M
TG900M
TG1300M
TG2400M
法兰
吸气口ISO-R/CF
100
160
160
200
250
排气口
KF25
KF25
KF40
KF40
KF40
排气速度
N2（附加金属过滤网）
320L/s
370L/s
860L/s
1230L/s
2300L/s
H2
290L/s
300L/s
1050L/s
1200L/s
1100L/s
大压缩比
N2
1×108
1×108
1×108
1×108
1×108
H2
4.3×103
4.5×103
1.5×104
1.5×104
1.5×103
极限压力
ISO-R/CF
＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa
＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa
＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa
＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa
＜1×10-6Pa
可达气体流量
N2（sccm）
2000
2000
3000
3000
3000
推荐辅助泵
≥160L/min
≥160L/min
≥250L/min
≥250L/min
≥500L/min
容许辅助压力
400Pa
400Pa
500Pa
500Pa
200Pa
重量Kg
ISO-R/CF
14/17
14/17
34/42
34/42
45/54
更多访问;
http://www.shycsm.net/Products-37038971.html
https://www.chem17.com/st519780/list_2346043.html
莱宝分子泵